Lítil tómarúmdælur eru dælur sem nota gas sem aðalvinnumiðil. Hentar fyrir langtíma lausagang og þurra notkun, þeir búa til lofttæmi (neikvæð þrýstingur) með því að knýja þind til að framkvæma gassog og losun í gegnum mótor-drifin fram og aftur hreyfingu. Þessi tæki eru með bæði sog- og útblástursstútum. Sérhæfðar gerðir innihalda tvíþætta-sog/stækkun og vatn/gas gerðir til að laga sig að mismunandi notkunaraðstæðum.
Kjarnaíhlutir innihalda þinddælu og lofttæmistýringu. Dæmigerð vara er Busch RA0020F (dæluhraði 20 m³/klst., endanlegur þrýstingur 0,1 mbar). Tækniþróun beinist að smæðun, orkunýtni og upplýsingaöflun, með segulmagnaðir sveiflutækni, olíu-lausri smurtækni og umhverfisvænni hönnun. Helstu forritin eru lækningatæki (sogtæki, öndunarvélar), umhverfisvöktun, hálfleiðaraframleiðsla og nýr orkuiðnaður. Spáð var að innlend markaðsstærð myndi ná 5 milljörðum júana árið 2024.